Optical Emission and Absorption Spectroscopy Measurements in a Microwave Assisted IPVD Reactor

• Autoři: VAŠINA Petr; DE POUQUEC Ludovic; LEROY Olivier; PAGNON Daniel; TEULÉ-GAY Lionel; BOISSE-LAPORTE Caroline; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceeding of Internation Conference on Phenomena in Ionized Gases, Volume 3
• Fakulta / Pracoviště MU: Rektorát