Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

• Autoři: NAVRÁTIL Zdeněk; ZAJÍČKOVÁ Lenka; SŤAHEL Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma; ČECH Jan; KUČEROVÁ Zuzana; TRUNEC David
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 16th ISPC
• Fakulta / Pracoviště MU: Fakulta informatiky
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Deposition; thin organosilicon polymer films; atmospheric pressure; glow discharge
• Popis: Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge

Související projekty

• Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů
• Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku
• Využití povrchového výboje buzeného za atmosferického tlaku pro modifikaci povrchů a depozici ochranných polymerních vrstev
• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek