Informace o publikaci
Electrical conductivity of Si incorporated diamond-like carbon films deposited by PECVD
| Název česky | Elektrická vodivost diamantupodobných vrstev připravených PECVD |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2003 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Juniormat 2003 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | PECVD; HMDSO; Electrical conductivity |
| Popis | Elektrická vodivost tenkých vrstev připravených PECVD |