Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor

• Název česky: Prostorově rozložení částic v IPVD reactorem
• Autoři: BUBLAN Martin; VAŠINA Petr; DE POUCQUES Ludovic; BOISSE-LAPORTE Caroline; IMBERT Jean-Christophe; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2003
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: WDS 03 Proceeding of Contributed Papers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: optical emission spectroscopy; optical absorption spectroscopy; IPVD; magnetron
• Popis: Výsledky optické emisní a absorpční spektroskopie z reaktoru obsahujícího magnetron a dvě mikrovlnné antény jsou diskutovány společně s výsledky vrstev z rastrovacího elektronového mikroskopu.

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek