Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

• Název česky: Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu
• Autoři: MEŠKO Marcel; CICMAN Peter; OHTSU Y.; FUJITA H.; KUDRLE Vít
• Rok publikování: 2004
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of physics D: Applied physics
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: IEDF; large area microwave plasma; sheath

Přiložené soubory

• d4_3_022.pdf

• Popis: Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substrat v mikrovlnnem plazmatu

Související projekty

• Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek