Informace o publikaci
Ion and Probe Measurements in rf Capacitive Discharges in Argon and Nitrogen
| Název česky | Měření iontů a sondové měření v kapacitně vázaných výbojích v argonu a dusíku |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2004 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | WDS'04 Proceedings of Contributed papers, Part II |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | Langmuir probe; Ion energy distribution; concentration profiles |
| Popis | K získání koncentrace elektronů, energie elektronů a plazmového potenciálu, v argonu a dusíku, byla použita Langmuirova sonda a PPM Balzers. Oba diagnostické přístroje byly umístěny paraleně s rovinou elektrod. Pohyblivé elektrody umožňují získat prostorové rozložení parametrů mezi elektrodami. Rozdělovací funkce energie iontu je za vysokých výkonu stejná jako pro zemněnou elektrodu. Projevuje se zde jeden intenzivní pík typický pro stěnové vrstvy u elektrod s malou amplitudou. Střední energie Ar+ a N2+ iontů je zhruba 92% energie odpovídající plazmovému potenciálu. Objevuje se nízkoenergetický pás. Z toho usuzujeme na srážky ve stěnové vrstvě, které nejsou pozorovány pro N+ ionty. Průběh střední energie iontů je ve shodě s průběhem plazmového potenciálu. Koncentrace elektronů a iontů mají stejný profil. |
| Související projekty: |