Informace o publikaci

Distribution and Burgers vectors of dislocations in semiconductor wafers investigated by rocking-curve imaging

Název česky Analýza distribuce a Burgersových vektorů dislokací v polovodičových deskách zobrazením rocking-křivek
Autoři

LÜBBERT D. FERRARI C. MIKULÍK Petr PERNOT P. HELFEN L. VERDI N. KORYTÁR D. BAUMBACH T.

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj J. Appl. Crystallography
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#LubbertFerrariMikulik-JAC-2005
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; wafers; defects; InP; GaAs
Popis Nedávno jsme vypracovali metodu 'zobrazování rocking-křivkami' (RCI), která s velkým prostorovým rozlišením umožňuje zobrazení nedokonalostí krystalové mříže ve velkých krystalech, jako jsou polovodičové desky.Metoda je založena na kombinaci analýzy rtg rocking křivek a digitální rtg difrakční topografie. V tomto článku navrhujeme rozšíření této metody, které umožní kvantifikovat hustotu dislokací a její distribuci na povrchu krystalu. Prezentujeme výsledky z téměř bezdislokačních S-dopovaných InP a z GaAs krystalů, na nichž je vidět nenáhodná distribuce dislokací.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info