Informace o publikaci
Distribution and Burgers vectors of dislocations in semiconductor wafers investigated by rocking-curve imaging
Název česky | Analýza distribuce a Burgersových vektorů dislokací v polovodičových deskách zobrazením rocking-křivek |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | J. Appl. Crystallography |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
www | http://sci.muni.cz/~mikulik/Publications.html#LubbertFerrariMikulik-JAC-2005 |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | lattice tilt; diffraction; X-ray diffraction; wafers; defects; InP; GaAs |
Popis | Nedávno jsme vypracovali metodu 'zobrazování rocking-křivkami' (RCI), která s velkým prostorovým rozlišením umožňuje zobrazení nedokonalostí krystalové mříže ve velkých krystalech, jako jsou polovodičové desky.Metoda je založena na kombinaci analýzy rtg rocking křivek a digitální rtg difrakční topografie. V tomto článku navrhujeme rozšíření této metody, které umožní kvantifikovat hustotu dislokací a její distribuci na povrchu krystalu. Prezentujeme výsledky z téměř bezdislokačních S-dopovaných InP a z GaAs krystalů, na nichž je vidět nenáhodná distribuce dislokací. |
Související projekty: |