Informace o publikaci
The Role of Secondary Electrons in Low Pressure RF Discharge via Computer Simulation
| Název česky | Role sekundárních elektronů v nizkotlakém rf výboji pomocí počítačové simulace |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | SAPP XV |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | secondary electrons; computer simulation |
| Popis | V příspěvku uvádíme studium role sekundárních elektronů v nízkotlakém RF výboji pomocí počitačové simulace. Pro simulaci jsme užili částicovou simulaci (Particle In Cell-Monte Carlo). Ukazali jsme, že koeficient sekundární emise (SEC) elektrod výrazně ovlivnuje plazma. Změna SEC o 0,1 vyvolá nárůst hustoty plazmatu až o 30%. Ukázali jsem, že okolo 30% elektronů jsou sekundárních elektronů a elektronů vytvořených ionizačníma srážkama sekundárních elektronů. Více než polovina všech iontů v systému je tvořena ionty vzniklými z ionizačních srážek sekundárních elektronů. |
| Související projekty: |