Informace o publikaci
Study of carbon films on silicon substrate
| Název česky | Studium uhlíkových vrstem na křemíkových vrstvách |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Material Science Forum |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.scientific.net/default.cfm?pdf=1&issn=0255-5476&pg=1&ppg=21&paper=203&isbn=0-87849-964-4 |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | high resolution scanning microscopy; carbon nanostructures; diamond; nanotubes |
| Popis | Tenké uhlíkové vrstvy na křemíkových substrátech byly studovány pomocí FE SEM s EDS analyzátorem. Prvním typem jsou vrsty uhlíkových nanotrubek (CNT) připravené na Si/SiO2 substrátech s vrstvou Fe nebo Ni metodou RF-CVD. Byly zkoumány vlastnosti vrstev na tloušťce Fe a Ni vrstev a depozičních podmínkách. Dalším druhem vrstev jsou vrstvy tvořené mikro- a nanokrystalickými diamanty. Tyto vrstvy byly přepraveny na předem ošetřených křemíkových substrátech metodou MPCVD. Hlavním bodem studia vrstev je vliv ošetření vrstem a jeho parametrů na výslednou diamantovou vrstvu. |
| Související projekty: |