Informace o publikaci
Spatially resolved probe measurements in hydrogen rf discharges
| Název česky | Prostorově rozlišená měření Langmuirovou sondou ve vodíkovém rf výboji |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | Proceedings of the 14th Annual Conference of Doctoral Students - WDS 2005 |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | plasma hydrogen discharge Langmuir probe |
| Popis | Měřili jsme rozdělovací funkci energie elektronů (EED) ve vodíkovém rf. kapacitně vázaném výboji při třech různých tlacích (2.5, 10 a 85 Pa). Hrot sondy byl při všech měřeních umístěn na ose výboje, ale za účelem získání prostorově rozlišených měření jsme měnili jeho vzdálenost od elektrod. Při tlaku 2.5 Pa jsme pozorovali, že elektrony měly nezvykle velkou energii. Maxima energie i koncentrace elektronů ležela na rozhraní stěnové vrstvy prostorového náboje ("sheath-u") u horní elektrody a vlastního plazmatu. Při zvyšování tlaku jsme pozorovali růst koncentrace a pokles energie elektronů, posun maxima koncentrace elektronů do centra plazmatu, přechod od nelokálního k lokálnímu charakteru výboje a vývoj stěnové vrstvy prostorového náboje u dolní elektrody. Detekovali jsme také skupinu vysokoenergetických elektornů letících od stěnových vrstev u elektrod. |
| Související projekty: |