Informace o publikaci
The Role of Secondary Electrons in Low Pressure rf Glow Discharge
| Název česky | Role sekundarních elektronů v nízkotlakém rf doutnavém výboji |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | WDS 2005 - Proceedings of Contributed Papers |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | computer simulation; rf glow discharg; secondary electrons |
| Popis | V práci byla studována role sekundárních elektronů ve vf nízkotlakém doutnavém výboji. Ke studiu byla použita počítačová simulace (metoda PIC/MC). Byl studován vliv koeficientu sekundární emise (SEY) na koncentraci plazmatu. Dále byla určena relativní koncentrace a energiová rozdělovací funkce. Relativní koncentrace elektronů (vzhledem k celkové koncntraci plazmatu), vzniklých na elektrodě je 2-10% pro SEY = 0,1, resp. 5-15% pro SEY = 0,2. Díky vysoké intenzitě el. pole v elektrodové vrstvě získají tyto elektrony vysokou energii ionizují neutrální částice. Relativní koncentrace elektronů i iontů, vzniklých z ionizace sec. ele., je více než 20%. |
| Související projekty: |