Spatial characterization of an IPVD reactor: neutral gas temperature and interpretation of optical spectroscopy measurements

• Název česky: Prostorove rozlisena charakterizace IPVD reaktoru: teplota jako klicovy parametr pro interpretaci opticke emisni spektroskopie
• Autoři: DE POUCQUES Ludovic; IMBERT Jean-Christophe; BOISSE-LAPORTE Caroline; VAŠINA Petr; BRETAGNE Jean; TEULÉ-GAY Lionel; TOUZEAU Michel
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma Sources Science and Technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: physical vapor deposition; ionised physical vapor deposition; titanium; metal ionisation; density; magnetron
• Popis: Studium IPVD reaktoru s Ti katodou. Teplota jako klicovy parametr pro interpretaci vysledku.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu