Informace o publikaci

Correlation between SiOx Content and Properties of DLC:SiOx Films Prepared by PECVD

Název česky Vztah mezi obsahem SiOx a vlastnostmi vrstev DLC:SiOx připravenými PECVD
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka BURŠÍKOVÁ Vilma PEŘINA Vratislav MACKOVÁ Anna JANČA Jan

Rok publikování 2003
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Surface and Coating Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova DLC; PECVD
Popis Tvrdé diamantu podobné uhlíkové vrstvy (DLC) s příměsí SiOx bylu připraveny v kapacitně vázaném vf výboji ze směsi metanu a hexametyldisiloxanu (HMDSO). Byl měněn průtok HMDSO, což ovlivňovalo množství SiOx ve vrstvách. Metodou Rutherfordovského zpětného rozptylu kombinovanou s metodou ERDA bylo stanoveno kompletní atomární složení vrstev. Tloušťka a optické vlastnosti byly stanoveny z elipsometrických měření. Mechanické vlastnosti byly studovány hloubkově citlivou indentační technikou za pomocí přístroje Fischerscope H100. Poměr O/Si v DLC:SiOx vrstvách byl 0,286 a obsah SiOx se zvyšoval s rostoucím poměrem průtoku HMDSO k metanu (q). Vrstvy DLC:SiOx byly z hlediska optických vlastností v uv a viditelné oblasti podobné vrstvám DLC a vykazovaly podobně vysokou tvrdost jako DLC vrstvy pokud byl poměr q maximálně 0,25. Podařilo se ovšem zredukovat vysoké tlakové pnutí ve vrstvách, byla podstatně vylepšena lomová houževnatost a zvýšila se depoziční rychlost.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.

Další info