Plasma Enchanced CVD of Carbon Nanotubes in Atmosferic Pressure Microwave Torch

• Název česky: Syntéza uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku metodou PECVD
• Autoři: JAŠEK Ondřej; ELIÁŠ Marek; BUBLAN Martin; KUDRLE Vít; ZAJÍČKOVÁ Lenka; MATĚJKOVÁ Jiřina; REK Antonín; BURŠÍK Jiří; KADLĚČÍKOVÁ Magdaléna
• Rok publikování: 2005
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of 15th Symposion on Application of Plasma Processes
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: carbon nanotubes; microwave discharge; scanning electron microscopy
• Popis: Uhlíkové nanotrubky byly připraveny v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku buzeném ve směsi metanu,vodíku a argonu na Si/SiO2/Fe substrátech. Optimalizací podmínek bylo možno připravit čisté, velmi dobře uspořádané vrtsvy dlouhých nanotrubek (několik desítek mikrometrů) s vysokou růstovou rychlostí. Deponované vrstvy byly analyzovány skenovací elektronovou mikroskopií a plazma výboje bylo analyzováno optickou emisní spektroskopií.

Související projekty

• Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi