Informace o publikaci
Optical characterization of sol-gel deposited PZT thin films by spectroscopic ellipsometry and reflectometry in near-UV and visible regions
| Název česky | Optická charakterizace tenkých vrstev PZT deponovaných sol-gel metodou pomocí spektroskopické elipsometrie a měření odrazivosti v blízké UV a viditelé oblasti |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Applied Surface Science |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/ASS244_338.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | PZT films; Optical constants; Ellipsometry; Reflectometry |
| Popis | V tomto článku jsou uvedeny výsledky týkající se optické charakterizace PZT vrstvy. Vícevzorková modifikace optické metody založené na kombinaci víceúhlové spektroskopické elipsometrie a téměř kolmé spektroskopické reflektometrie je použita pro obdržení spektrálních závislostí optických konstant této vrstvy v rámci spektrální oblasti 190-1000 nm. V blízké UV oblasti ostré tvary spektrálních závislostí optických konstant byly nalezeny. Tyto tvary jsou vysvětleny existencí úzkých pásů 4d a 3d valenčních elektronů přechodových kovů Zr a Ti. V rámci optické charakterizace PZT vrstvy jsou respektovány defekty sestávající se z drsnosti rozhraní a profilu indexu lomu. |
| Související projekty: |