Informace o publikaci
Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate
| Název česky | Zrcadlová spektroskopická elipsometrie pro monitorování kritické velikosti mřížek vyrobených na tlustých transparentních substrátech |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of Applied Physics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Ellipsometry; Gratings |
| Popis | Mód zrcadlové spektroskopické elipsometrie je aplikován pro analýzu optické odezvy mřížek vyrobených na transparentních podložkách v podobě tlustých destiček. Podstata optické odezvy mřížek je popsána na základě využití nekoherentních příspěvků způsobených zpětnými odrazy v konečném transparentním prostředí podložky. Speciální funkce identifikuje "diminution efekt" způsobený deflekcí sekundárních příspěvků z primárního svazku. Dvě různé metody jsou užity k měření elipsometrické odezvy, kapalinová metoda s eliminací zpětných odrazů a metoda zahrnující nekoherentní zpětné odrazy. Mřížkové parametry dedukované z fitování měření užitím první metody jsou aplikovány k simulaci elipsometrické odezvy použitím druhé metody. Spektrální závislosti poskytnuté oběma metodami jsou srovnány s výborným souhlasem simulací a měření, což nasvědčuje vysokou použitelnost metody zpětných odrazů při metrologické charakterizaci mřížek vytvořených na transparentních deskách. |