![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Specular spectroscopic ellipsometry for the critical dimension monitoring of gratings fabricated on a thick transparent plate
Název česky | Zrcadlová spektroskopická elipsometrie pro monitorování kritické velikosti mřížek vyrobených na tlustých transparentních substrátech |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Applied Physics |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | Ellipsometry; Gratings |
Popis | Mód zrcadlové spektroskopické elipsometrie je aplikován pro analýzu optické odezvy mřížek vyrobených na transparentních podložkách v podobě tlustých destiček. Podstata optické odezvy mřížek je popsána na základě využití nekoherentních příspěvků způsobených zpětnými odrazy v konečném transparentním prostředí podložky. Speciální funkce identifikuje "diminution efekt" způsobený deflekcí sekundárních příspěvků z primárního svazku. Dvě různé metody jsou užity k měření elipsometrické odezvy, kapalinová metoda s eliminací zpětných odrazů a metoda zahrnující nekoherentní zpětné odrazy. Mřížkové parametry dedukované z fitování měření užitím první metody jsou aplikovány k simulaci elipsometrické odezvy použitím druhé metody. Spektrální závislosti poskytnuté oběma metodami jsou srovnány s výborným souhlasem simulací a měření, což nasvědčuje vysokou použitelnost metody zpětných odrazů při metrologické charakterizaci mřížek vytvořených na transparentních deskách. |