Informace o publikaci
X-ray reflection study of early stages of Pt silicide formation
| Název česky | Studium počátečních fází silicidace Pt metodou rtg reflexe |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2004 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | 7th Bienal Conference on High Resolution X-ray Diffraction and Imaging, Book of abstracts |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | silicidation; Pt; XRR |
| Popis | Velmi časná stadia silicidace vrstvy platiny deponované na Si substrátu byla měřena s pomocí reflexe rtg záření při žíhání in-situ. Bylo zjištěno, že interdifuye mezi vrstvami začíná již za teplot nad 100stC, což je mnohem nižší hodnota, než než je teplota běžně udávaná pro počátek vzniku silicidu platiny. |
| Související projekty: |