![Jak na přijímačky](https://cdn.muni.cz/media/3633702/image_1.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias
Název česky | Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | E-MRS 2006 Fall meeting |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | nanostructures; composites; diamond films; PECVD; RF induced DC self bias voltage |
Popis | Mechanické vlastnosti nanostrukturovaných kompozitních diamantových vrstev připravených plazmovou depozicí podpořenou vysokofrekvenčně indukaném stejnosměrném předpětí |
Související projekty: |