Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique

• Název česky: Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; SLÁDEK Petr; SŤAHEL Pavel; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Journal of Non-Crystalline Solids
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: amorphous semiconductors; silicon; mechanical properties; creep; hardness; intendation; microintendation;ELASTIC-MODULUS; COATED SYSTEMS
• Popis: Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou

Související projekty

• Plazmochemická modifikace přírodních polymerů na bázi celulózy v povrchovém nebo koplanárním bariérovém výboji za atmosférického tlaku
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů