Comparison of structure and mechanical properties of SiO2-like films deposited in O2/HMDSO pulsed and continuous plasmas

• Název česky: Srovnání struktury SiO2-podobných vrstev deponovaných v pulzním a kontinuálním O2/HMDSO plazmatu
• Autoři: BOSQUET Angelique; BURŠÍKOVÁ Vilma; GOULLET A.; DJOUADI A.; ZAJÍČKOVÁ Lenka; GRANIER Agnes
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Surface & coatings technology
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: SILICON DIOXIDE; COATINGS
• Popis: Srovnání struktury SiO2-podobných vrstev deponovaných v pulzním a kontinuálním O2/HMDSO plazmatu

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek