X-Ray Reflectivity measurements to evaluate thin films and multilayers thickness: preliminary results of the first world Round-Robin Test

• Název česky: Měření rtg reflexe pro vyhodnocení tloušťky tenkých vrstev a multivrstev: předběžné výsledky prvního světového Round Robin testu
• Autoři: AGNIHOTRI Dileepa; ASADCHIKOV V. E.; BONTEMPI Elza; CHANG Chang-Hwan; COLOMBI Paolo; DEPERO Laura E.; FARNWORTH Mark; FUJIMOTO Toshiyuki; GIBAUD Alan; JERGEL Matej; BOWEN D. Keith; KRUMREY Michael; LAMPERTI Alessio; LAFFORD Tamzin A.; MATYI Richard J; MA T.; MEDUŇA Mojmír; MILITA Silvia; SAKURAI Kenji; SHABEL'NIKOV Leonid; SONI S.; ULYANENKOV Alexander; LEE A. van der; WIEMER Claudia
• Rok publikování: 2006
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: XTOP 2006 - 8th Biennial Conference on High Resolution X-Ray Diffraction and Imaging
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: standartization; x-ray reflectivity
• Popis: Test round robin byl odstartován v rámci 20 laboratoří v září 2005 za účelem získání reprodukovatelnosti spekter a chyb ve vypočtených tloušťkách vrstev několika vzorků GaAs/GaAl multivrstev. Byly presentovány a diskutovány předběžné výsledky.

Související projekty

• Studium morfologie polovodičových multivrstev pomocí rtg rozptylu
• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur