Informace o publikaci
In-situ investigations of Si and Ge interdiffusion in Si cascade structures
Název česky | In-situ studie Si a Ge interdifuse v Si kaskádových strukturách |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Synchrotron Radiation in Natural Sciences |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | x-ray reflectivity; multilayers; interdiffusion; SiGe |
Popis | Zaměřujeme se na studium teplotní stabitlity jednoduchých deformačně symetrizovaných SiGe/Si multivrstev navrhnutých podobně tak jako komplikované kvantově kaskádové struktury s obsahem Ge 30% a 80%. Reciproké mapy rtg reflexe a difrakce všech struktur byly zaznamenány při pokojové teplotě a během isotermického žíhání pro teploty v rozsahu od 550 C do 824 C. |
Související projekty: |