Zde se nacházíte:
Informace o publikaci
Sheath resistance in RF discharges
Název česky | Odpor stěnové vrstvy ve vysokofrekvenčních výbojích |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | sheath resistance discharge probe |
Popis | Příspěvek studuje odpor stěnové vrstvy v kapacitně vázaném výboji. Byla pozorována její nelinearita vzhledem ke stejnosměrnému proudu, tj. odpor stěnové vrstvy závisel na procházejícím stejnosměrném proudu. Nelineární chování stěnové vrstvy může být v některých případech využito k přibližnému určení parametrů plazmatu. |
Související projekty: |