Informace o publikaci
Influence of methane on capacitively coupled oxygen discharge
| Název česky | Vliv metanu na kapacitně vázaný kyslíkový výboj |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2007 |
| Druh | Článek ve sborníku |
| Konference | 16th Symposium on Application of Plasma Processes - Book of Abstracts |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | oxygen; methane; capacitively coupled; plasma |
| Popis | Vliv metanu na kyslíkový kapacitně vázaný výboj byl studován pomocí hmotnostního a energiového spektrometru. Dominantním iontem ve výboji byl kyslíkový iont O2+, jehož množství bylo výrazně redukováno přidáním příměsi metanu. Dále byly detekovány především ionty C2H7+, CHO+, CH3+ a cO+, neutrálním produktům reakcí přirozeně dominovaly H2O, CO2 a CO. |
| Související projekty: |