Comparative Study of Films Deposited from HMDSO/O2 in Continuous Wave and Pulsed rf Discharges

• Název česky: Srovnávací studie vrstev připravených z HMDSO/O2 v kontinuálních a pulzních vf výbojích
• Autoři: ZAJÍČKOVÁ Lenka; BURŠÍKOVÁ Vilma; FRANTA Daniel; BOUSQUET Angelique; GRANIER Agnes; GOULLET Antoine; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Plasma processes and polymers
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://www3.interscience.wiley.com/cgi-bin/abstract/114261549/ABSTRACT
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: PECVD; hexamethyldisiloxane; oxygen; CCP; ICP
• Popis: Zabývali jsme se srovnávací studií vlastností vrstev připravených ve vf kapacitně vázaném výboji z 5% směsi hexametyldisiloxanu v kyslíku při dvou různých tlacích 2.5 and 40 Pa v kontinuálním a pulzním módu. Změny optických a zejména mechanických vlastností vrstev byly pozorovány v důsledku odlišného tlaku. Malá změna vlastností byla rovněž dosažena pulzováním výboje.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou