![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model
Název česky | Stanovení teploty elektronů v RF výboji v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of ICPIG XXVIII |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model |
Popis | Teplota elektronů v kapacitně vázaném RF výboji v neonu byla stanovena pomocí srážkověradiačního modelu. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Byly uvažovány tři druhy rozdělovací funkce elektronů. Výsledky byly porovnány se simulací PIC/MC. |
Související projekty: |