Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model

• Název česky: Stanovení teploty elektronů v RF výboji v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu
• Autoři: NAVRÁTIL Zdeněk; SCHMIDT J; BRZOBOHATÝ Oto; ŠIMEK J; TRUNEC David; PEKÁREK S; ŠMÍD Radek; PRUKNER V; LAZAR Lukáš
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Proceedings of ICPIG XXVIII
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model
• Popis: Teplota elektronů v kapacitně vázaném RF výboji v neonu byla stanovena pomocí srážkověradiačního modelu. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Byly uvažovány tři druhy rozdělovací funkce elektronů. Výsledky byly porovnány se simulací PIC/MC.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku
• Pokročilý výzkum a vývoj zdrojů nízkoteplotního plazmatu