![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Model of reactive magnetron sputtering process with non-uniform discharge current density
Název česky | Model reaktivního magnetronového naprašování s nerovnoměrnou proudovou hustotou |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceeding of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | magnetron sputtering; reactive; Berg |
Popis | Model reaktivního magnetronového naprašování s nerovnoměrnou proudovou hustotou, sborník |
Související projekty: |