UV light enhanced oxidation of a-C:H thin film in air: A study of thickness reduction

• Název česky: Oxidace a-C:H tenké vrstvy pod UV světlem na vzduchu. Studie poklesu tloušťky
• Autoři: VALTR Miroslav; KLAPETEK Petr; OHLÍDAL Ivan; FRANTA Daniel
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Optoelectronics and Advanced Materials - Rapid Communications
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: http://inoe.inoe.ro/oam-rc/
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Amorphous carbon;Thin film;Optical properties;a-C:H;UV enhanced oxidation;Reflectance spectra
• Popis: Oxidace a-C:H tenké vrstvy pod UV světlem na vzduchu. Studie poklesu tloušťky.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie