Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers

• Název česky: Plazmochemická depozice vrstev z hexametyldisiloxanu a oktametyltetrasiloxanu
• Autoři: ZAJÍČKOVÁ Lenka; KUČEROVÁ Zuzana; FRANTA Daniel; BURŠÍKOVÁ Vilma; BURŠÍK Jiří; SŤAHEL Pavel; KLAPETEK Petr
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: 18th International Symposium on Plasma Chemistry
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: PECVD; HMDSO; OMCTS
• Popis: Siloxanové polymery

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou