![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers
Název česky | Plazmochemická depozice vrstev z hexametyldisiloxanu a oktametyltetrasiloxanu |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | 18th International Symposium on Plasma Chemistry |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | PECVD; HMDSO; OMCTS |
Popis | Siloxanové polymery |
Související projekty: |