Study of Mechanical Properties of NCD Coatings

• Název česky: Studium mechanických vlastností NCD vrstev
• Autoři: BURŠÍKOVÁ Vilma; BURŠÍK Jiří; KARÁSKOVÁ Monika; JAŠEK Ondřej; ZAJÍČKOVÁ Lenka; FRANTA Daniel; KLAPETEK Petr; BLÁHOVÁ Olga
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: VI. ročník konferencie Vrstvy a povlaky 2007
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Mechanical Properties; NCD Coatings
• Popis: Byly připraveny nanokompozitní diamantové vrstvy (NCD) pomocí mikrovlnné PECVD doplněné RF indukovaným stejnosměrným záporným předpětím v reaktoru typu ASTEX. Lomová houževnatost rozhraní vrstva substrát se ukázala být závislá na způsobu přiložení RF indukovaného stejnosměrného záporného předpětí. V případě vrstev, kdy toto předpětí bylo aplikováno až po zavedení metanu do depoziční směsi, vzorky měly podstatně vyšší lomovou houževnatost díky vytvoření amorfní uhlíkové mezivrstvy vylepšující adhezi vrstvy ke křemíkovému substrátu.

Související projekty

• Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Víceúrovňové studium vztahů mezi mechanickými a mikrostrukturními charakteristikami materiálů