![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Study of a fast high power pulsed magnetron discharge: role of plasma deconfinement on the charged particle transport
Název česky | Studium rychlého pulzního magnetronového výboje - transport rozprášených ionizoných částiv v plazmatu s magnetickým polem |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2008 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Plasma Sources Science and Technology |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | high power pulses; magnetron |
Popis | Studuje transport rozprášených částic směrem od magnetronového terče buzeného pulzy velkého výkonu k substrátu. |
Související projekty: |