Investigation of Neon RF Discharge by Means of Refined Collisional-Radiative model

• Název česky: Studium RF výboje v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu
• Autoři: NAVRÁTIL Zdeněk; JURMANOVÁ Jana; DVOŘÁK Pavel; TRUNEC David
• Rok publikování: 2008
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Programme & Abstract Book of 23rd Symposium on Plasma Physics and Technology, Prague, Czech Republic, 13.-19.June 2008
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: rf discharge; collisional-radiative model; optical emission spectroscopy; neon
• Popis: Dříve vyvinutý srážkově-radiační model byl použit ke studiu kapacitně vázaného RF výboje (13,56 MHz) v neonu. Spolu s absolutním měření intenzity záření bylo možné stanovit teplotu a koncentraci elektronů.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Pokročilý výzkum a vývoj zdrojů nízkoteplotního plazmatu