Characterization of non-uniform diamond-like carbon films by spectroscopic ellipsometry

• Název česky: Charakterizace neuniformních vrstev diamantu-podobného uhlíku pomocí spektroskopické elipsometrie
• Autoři: OHLÍDAL Ivan; NEČAS David; FRANTA Daniel; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Diamond and Related Materials
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• www: https://doi.org/10.1016/j.diamond.2008.09.003
• Doi: http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2008.09.003
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: diamond-like carbon films; thickness non-uniformity; material parameters; optical constants
• Popis: V praxi řada vrstev připravených různými technologiemi vykazuje slabší či silnější plošnou neuniformitu. Diamantu-podobné uhlíkové (DLC) vrstvy jsou také někdy vyrobeny s touto neuniformitou. V tomto příspěvku bude ukázáno, jak zahrnout tloušťkovou neuniformitu vrstev při optické charakterizaci pomocí spektroskopické elispometrie. Jsou ukázány dva nové vzorce vyjadřující komponenty Stokesova vektoru vrstev vykazující tloušťkovou neuniformitu pro fázově modulovanou elipsometrii.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích