Informace o publikaci
Reflectance of non-uniform thin films
| Název česky | Odrazivost neuniformních tenkých vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2009 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of Optics A: Pure and Applied Optics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Optika, masery a lasery |
| Klíčová slova | thin films; thickness non-uniformity; spectrophotometry |
| Popis | Na základě vyjádření rozdělovací funkce tloušťky vrstvy je vyjádřen obecný vztah pro odrazivost neuniformní tenké vrstvy. Jsou uvedeny příklady rozdělení tlouštěk odpovídající různým tvarům tloušťkové neuniformity. Dále je odvozen vzorec pro odrazivost coby aproximace druhého řádu rozvoje obecné formule do mocninné řady ve střední kvadratické odchylce (rms) rozdělení tloušťek. Pomocí numerické analýzy je ukázno, že pro větší hodnoty tloušťkové neuniformity je při optické charakterizaci třeba vzít v úvahu konkrétní tvar neuniformity, kdežto pro malé neuniformity není konkrétní tvar podstatný. Teoretické výsledky jsou aplikovány na kompletní optickou charakterizaci vybrané neuniformní vrstvy nitridu uhlíku. |
| Související projekty: |