Measurement of plasma potential waveform in capacitive discharge

• Název česky: Měření průběhu potenciálu plazmatu kapacitního výboje
• Autoři: DVOŘÁK Pavel
• Rok publikování: 2009
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Popis, test a první výsledky metody umožňující měřit průběh potenciálu plazmatu pomocí nekompenzované sondy.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích