Zde se nacházíte:
Informace o publikaci
Determination of plasma parameters in neon RF discharge by optical emission spectroscopy
Název česky | Stanovení parametrů plazmatu RF výboje v neonu pomocí optické emisní spektroskopie |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2009 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | V RF výboji v neonu byla měřena koncentrace elektronů a elektronová teplota. Studium bylo zaměřeno na oblast výboje v blízkosti elektrody. Parametry byly studovány v závislosti na elektrickém výkonu dodávaném do výboje. |
Související projekty: |