Vacancies and self-interstitials dynamics in silicon wafers

• Název česky: Dynamika vakancí a intersticiálů v Si deskách
• Autoři: CAHA Ondřej; KUBĚNA Josef; KUBĚNA Alan; MEDUŇA Mojmír
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Solid State Phenomena
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika pevných látek a magnetismus
• Klíčová slova: Silicon; vacancies; Interstitials; nucleation
• Popis: Tato práce se zabývá především nukleací vakancí během RTA zahrnujícím různé stupně chlazení a počáteční stavy.

Související projekty

• Fyzikální a chemické vlastnosti pokročilých materiálů a struktur
• Nukleace a růst kyslíkových precipiátů v křemíku