Diagnostics of reactive magnetron sputtering

• Název česky: Diagnostika reaktivního magnetronového naprašování
• Autoři: VAŠINA Petr; DVOŘÁK Pavel; SCHMIDTOVÁ Tereza
• Rok publikování: 2010
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Monitorování reaktivního magnetronového naprašování pomocí měření vyšších harmonických frekvencí napětí.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev