![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Monitoring of magnetron target poisoning by measurement of higher harmonics of discharge voltages
Název česky | Sledování stavu otrávení magnetronového terče pomocí vyšších harmonik výbojových napětí |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2010 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Plasma Sources Sci. Technol. |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | plasma; higher harmonic frequencies; reactive magnetron sputtering |
Popis | Monitorování tvorby otrávené vrstvy na povrchu magnetronového terče pomocí vyšších harmonických frekvencí výbojových napětí a testování fyzikálních důvodů pro reakci vyšších harmonik na přechod mezi kovovým a otráveným režimem. |
Související projekty: |