Deposition and characterization of n-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD

• Autoři: SOUČEK Pavel; ABDELAZIZ El Mel; PIERRE-YVES Tessier; ELIÁŠ Marek; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr
• Rok publikování: 2010
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Deposition and characterization of n-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD. Analyses of mechanical properties, chemical composition and adhesion.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev