Deposition and analyses of hard and thick well adherent nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD process

• Autoři: SOUČEK Pavel; SCHMIDTOVÁ Tereza; ZÁBRANSKÝ Lukáš; BURŠÍKOVÁ Vilma; VAŠINA Petr; JÍLEK Mojmír; EL MEL Abdelaziz; TESSIER Pierre-Yves; SCHÄFER Jan; BURŠÍK Jiří
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Deposition and analyses of hard and thick well adherent nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD process. Severeal micrometers thick coatings with hardness over 45 GPa and Young's modulus over 400 GPa was reached.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy