![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Complex analysis of SiOxCyHz films deposited by an atmospheric pressure dielectric barrier discharge
Název česky | Komplexní analýza SiOxCyHz vrstev deponovaných APDBD |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2011 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Surface & Coatings Technology |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Doi | http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2011.03.124 |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | SILVER NANOPARTICLES; PLASMA; JET |
Popis | SiOx vrstvy byly připraveny s využitím atmosférického DBD výboje z HMDSO a silanu. Byla provedena studie vlivu parametrů výboje na složení, mikrostrukturu a tloušťku vrstvy. |
Související projekty: |