Povrchová plazmová úprava krystalických křemíkových desek určených pro výrobu solárních článků

• Autoři: SKÁCELOVÁ Dana; SŤAHEL Pavel; HANIČINEC Martin; BAŘINKOVÁ Pavlína; ČERNÁK Mirko
• Rok publikování: 2010
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Sborník příspěvků z 5. České fotovoltaické konference
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: Crystalline silicon atmospheric pressure plasma surface modification
• Popis: Předkládaný článek se zabývá možností využití plazmatu za atmosférického tlaku v oblasti polovodičového průmyslu, převážně pak v oblasti výroby solárních článků. Byl zkoumán vliv Difúzního Koplanárního Povrchového Výboje (DSCBD - Diffuse Coplanar Surface Barrier Discharge) na změnu povrchových vlastností krystalických křemíkových desek odebraných v různých fázích výroby solárních článků. Zjistilo se, že tato úprava dokonale hydrofilizuje všechny studované povrchy (texturované, leštěné, SOX, Si3N4, po difúzi…). Volná povrchová energie byla studována metodou kontaktních úhlů.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Tvorba nano-vrstev a nano-povlaků na textiliích s využitím plazmových povrchových úprav za atmosférického tlaku