Characterization of ultrananocrystalline diamond thin films using low energy scanning electron microscopy

• Autoři: ŠPERKA Jiří; ZAJÍČKOVÁ Lenka; JAŠEK Ondřej; DVOŘÁK Pavel; MIKMEKOVÁ Šárka; SCHÄFER Jan
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: This paper deals with the low energy scanning electron microscopy characterization of ultrananocrystalline diamond films. These films were prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using dual frequency discharge.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Syntéza uhlíkových nanotrubek plazmochemickou metodou a studium jejich funkčních vlastností