Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of titanium target sputtering in argon and acetylene

• Název česky: Experimentální studie hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu
• Autoři: SCHMIDTOVÁ Tereza; VAŠINA Petr; SOUČEK Pavel
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Tento příspěvek se věnuje experimentálnímu studiu hybridního PVD-PECVD procesu rozprašování titanového terče v argonu a acetylenu

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace
• CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy