![Jak na přijímačky](https://cdn.muni.cz/media/3633702/image_1.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing
Název česky | Vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích a jejich využití v plazmových procesech |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2011 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | Použití vyšších harmonických frekvencí na sledování depozičních procesů. |
Související projekty: |