Higher harmonic frequencies in capacitive discharges and their using for monitoring of plasma processing

• Název česky: Vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích a jejich využití v plazmových procesech
• Autoři: DVOŘÁK Pavel; BURŠÍKOVÁ Vilma; ŽEMLIČKA Radek
• Rok publikování: 2011
• Druh: Konferenční abstrakty
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Popis: Použití vyšších harmonických frekvencí na sledování depozičních procesů.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek
• Depozice termomechanicky stabilních nanostrukturovaných diamantu-podobných tenkých vrstev ve dvojfrekvenčních kapacitních výbojích