Informace o publikaci
Characterization of Amorphous Hydrocarbon Films Prepared by PECVD on Gold Substrate, Advanced Hybrid Materials II: design and applications of the E-MRS
| Název česky | Charakteristika amorfních uhlovodíků filmů připravených PECVD na podložce, Gold Advanced hybridní materiály II: Design a aplikace E-MRS |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2012 |
| Druh | Uspořádání konference |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Popis | Chemické a morfologické charakteristiky uhlovodíků na zlato používané jako funkcionalizovaných rozhraní hraje Důležitou roli v mikroelektronice a bio-senzorika. Amorfní uhlovodíků filmy byly připraveny na zlato podkladu pomocí plazmatické chemické depozice vyšší par (PECVD).Studie srovnává vlastnosti filmu dosaženo dvěma různými technikami PECVD: jednak při nízkém tlaku, druhý při atmosférickém tlaku podmínek. Nízký tlak PECVD (8 kPa) postupovala v bell jar reaktoru plazmového vytváří dvojí frekvenci vypouštění (2.45 GHz a 13,56 MHz) ve směsi vodíku a metanu. V kontrastu k tomu, PECVD za atmosférického tlaku bylo provedeno s kapilární provozu plazmové jet na 27.12 MHz v plynné směsi argonu, vodíku a metanu.Experiment ukazuje, aplikační potenciál depozice ve srovnání s konvenční technika. Uložená filmy byly charakterizovány vysokým rozlišením rastrovacího elektronového mikroskopie (SEM), laserová desorpce-ionizace doba letu TOF hmotnostní spektrometrie (MS) a infračervené reflexe absorpční spektrometrie (IRRAS).Vhodná kombinace metod umožňuje výklad microstructuring filmů. Kromě toho bylo rozdělení uhlíku clusteru byly nalezeny v různých spektrech z MS vrstev. Výsledky korelují s morfologickou charakteristikou získanou pomocí SEM a charakteristické pásy v otisků prstů oblasti spektra IRRAS týden |