Informace o publikaci
Growth of Carbon Materials on Gold Substrate by Plasma Enhanced CVD
| Název česky | Růst uhlíkových materiálů na zlatém podkladu zesílené plazmou CVD |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2012 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.pse-conferences.net/programm.html |
| Klíčová slova | gold, carbon, carbon, nanotubes, PECVD, LDI |
| Popis | Uhlík je univerzální stavební prvek z mnoha zajímavých materiálů, které již najít praktické uplatnění v podobě tenkých vrstev (diamant, DLC) nebo potenciální aplikace ve formě nanostruktur (fullereny, uhlíkové nanotrubice a grafenu). Pro elektroniku a senzory, je důležité poskytují velmi dobrý kontakt na funkčních struktur. Zlato je nejlepší výběr s ohledem na jeho inertnost, tj. odolnost proti oxidaci. z tohoto Z hlediska vyšetřování růstu uhlíkových materiálů na zlato je důležité. Nicméně, interakce plazmatu vodíku a uhlovodíků a rostoucí uhlíkového materiálu inertním povrchu zlata je velký zájem základní výzkum taky. Amorfní uhlovodíkové filmy a uhlíkové nanotrubky (ČNTS) byly připraveny na zlatém podkladu pomocí plazmatické chemické depozice par zvýšenou (PECVD) a tepelné CVD pro srovnání. Tenký železa filmu (5 nm) byl použit jako katalyzátoru v případě ČNTS syntézy. Tři typy výbojů bylo zaměstnáno pro tuto studii, a to (i) nízký tlak (8 kPa) dvoufrekvenční výboj (2.45 GHz a 13,56 MHz) ve směsi H2 a CH4, (ii) kapilární plazma jet provozu na 27.12 MHz v Ar/H2/CH4 směsi plynů, (iii) mikrovlnná hořák (2,45 GHz) za atmosférického tlaku v Ar/H2/CH4.nízká a atmosférický tlak tepelné CVD probíhala ve stejných směsi plynů jak je uvedeno výše.Povrchová morfologie vkladů byl vyšetřován Vysoké rozlišení skenování elektronová mikroskopie (HRSEM) a struktura profily byly pozorovány s pomocí cíleného ablace iontových svazků. Laserová desorpce ionizace (LDI) v kombinaci s time-of-flight hmotnostní spektrometrie a infračervené reflexe absorpční spektrometrie (IRRAS) byla použita ke studiu chemické složení.Vytvoření zřídka pozorovány zlata souvisejících uskupení byla pozorován LDI a vztahující se k infračervené absorpce vrcholů. |