![Důležité termíny](https://cdn.muni.cz/media/3633704/image_2.jpg?mode=crop¢er=0.5,0.5&rnd=133572412150000000&heightratio=0.5&width=278)
Informace o publikaci
Alternative method for flow measurement of clog producing gases and liquids in PVD and PECVD processes
Název česky | Alternativní metoda měření průtoku plynů a kapalin v depozících PVD a PECVD |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2011 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Book of Extended Abstracts POTENTIAL AND APPLICATIONS OF THIN CERAMIC AND METAL COATINGS 2011 |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | flow measurement; PECVD; Prandtl-Pitot tube; Iron pentacarbonyl |
Popis | V této práci je použita metoda měření průtoku plynů v případě. kdy nelze použít elektronické průtokoměry, jako například vysoce reaktivní plyny, nestabilní látky nebo dochází k jiným typům komplikací při použití průtokoměrů. Úspěšně jsme použilu metodu využívající Pitotovu trubici pro měření průtoku pentakarbonylu železa př syntéze železných nanočástic metodou PECVD. |
Související projekty: |