Hydrogenation of platinum introduced in silicon by radiation enhanced diffusion

• Autoři: HAZDRA Pavel; KOMARNITSKYY Volodymyr; BURŠÍKOVÁ Vilma
• Rok publikování: 2009
• Druh: Článek v odborném periodiku
• Časopis / Zdroj: Materials Science and Engineering
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Doi: http://dx.doi.org/10.1016/j.mseb.2008.11.038
• Obor: Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
• Klíčová slova: diffusion; hydrogenation; platinum; silicon
• Popis: Článek je zaměřen na hydrogenaci atomů platina v křemíku pomocí radiačně podporované difúze. Defekty jsou studovány zejména pomocí deep level transient spectroscopy.

Související projekty

• Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek